机译:在不同温度下退火的聚酰亚胺薄膜的准分子激光投影微加工
机译:使用准分子激光投影退火工艺对铟锡氧化物薄膜进行高分辨率的无抗蚀剂构图
机译:通过准分子激光退火增强室温沉积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的电学和光学性能
机译:准分子激光退火过程中硅薄膜的原位快速温度测量
机译:基准激光退火Si薄膜的微观结构分析与表面平面
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:通过准分子激光退火增强室温沉积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的电学和光学性能
机译:直接写入和光学投影的准分子激光蚀刻金刚石和硬碳膜